秦朝建立后，以维护皇帝的专制权力主要目的，以“治吏”为主要内容，以“纠察”各级官吏的违法失职为主要职责的封建监察制度便在战国时代御史制度的基础上形成了。天下文书和监察。在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”，负责监察郡内各项工作。
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秦代开始形成制度，之后便成为历代的一项重要政治制度。经过长期的发展，这一制度逐步健全和完备。在公元前221年,中国历史上第一个皇帝——秦始皇统一中国，建立起封建专制主义的中央集权制度，并创建了相对独立的监察制度。在中央设立御史大夫，位列三公,以贰丞相,御史府为其官署，掌握天下文书和监察。在地方上,皇帝派御史常驻郡县,称“监御史”，负责监察郡内各项工作。
一、监察机关的设置
秦朝在中央设置御史大夫，作为主管监察的最高官吏。其位上卿，“银印青绶，掌副丞相”，御史大夫实即副丞相。秦朝任御史大夫者有冯动、李昙、钱产、得等。
御电大夫的属吏有两丞，秩千石。一为中丞，二是御史丞。御史丞主要是在府内协助大夫处理日常公务;中丞则在殿中掌图书秘籍，并外领监御史以督郡县，内领侍御史以受公卿奏事，举劾按章，有独立的权责。
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在御史中丞之下，秦朝中央的侍御史有15员。但基本上是临时性的派遣监官，其职责因需要而定。史载，秦始皇时张苍曾为御史，即是侍御史。在地方，秦朝郡级所置之监，即是监御史。史称“秦有监御史，监诸郡”。
二、监察机构的职权
作为秦朝监察机构的御史台，在当时并不是仅掌纠察之职。御史大夫中丞、侍御史等还掌管国家的图书秘籍，但以监察为主要职责。
御史大夫的一个重要职责就是“掌讨奸猾，治大狱”(《资治通鉴》)即监察处理一些重大案件。如秦始皇三十五年之坑儒案，“使御史悉案问诸生，诸生传相告引，乃自除犯禁者四百六十余人，皆坑之咸阳，使天下知之，以惩后”。再如三十六年“有坠星下东郡，至地为石。黔首或刻其石曰，始皇帝死而地分。始皇闻之，遣御史逐问，莫服，尽取石旁居人诛之，因燔销其石”(《史记·秦始皇本纪》)。
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还有一个职责是“受公卿奏事，举劾按章”，即监督和举劾内外一切官吏的违法失职行为。秦二世时，赵高“日夜毁恶蒙氏，求其罪过，举劾之”，胡亥即“遣御史曲宫乘传之代”，以令杀蒙毅。这是中央御史举劾高级官员的例子。至于地方各郡的监御史，则可根据法律，“令人案行之，举劾不从令者，到以律，论及令、丞。有(又)且课县官，独多犯令，而令、丞弗得者，以令、丞闻”(《史记·李斯传》)。即是说，郡守派遣监御史至各县巡察，监察不守法令的官吏，并依法律论处，可论及县令与丞官。同时又考察官民多有不法行为，其令、丞亦未认真察处的，就将令、丞上报朝廷治罪。