沈攸之兵败的时间是宋顺帝升明二年(公元478年)，转年开春，清除了异己的萧道成便按部就班地向皇帝的位置迈进：在地方上安排自己的子孙或助手去接管兵权，在朝廷中则任命亲信担任重要职位;三月，萧道成被封为相国、齐公，加九锡;四月，萧道成进爵为王，加殊礼(所谓的殊礼也就是对大臣的最高礼遇：剑履上殿、入朝不趋、赞拜不名)。从前曹操、司马昭、刘裕曾经得到的，萧道成在478年在成都得得到。速度最快，功劳则最小。萧道成的志向，不在天下之大，只在于权位之高，那么紧接着的下一步，当然就是禅代了。
经过
入朝执政
公元474年(元徽二年)五月，桂阳王刘休范反叛朝廷，萧道成带兵平叛，取得胜利，由于平叛有功，萧道成晋爵为公，迁中领军将军，掌握禁卫军，督五州军事，但实际上已经形成萧道成独掌朝政的局面。当时，他与袁粲、褚渊、刘秉号称“四贵”。此后，宋皇室成员为争权自相残杀，朝廷实权渐集于萧道成。
公元476年(元徽四年)，萧道成升任尚书左仆射(相当于朝廷宰相)。同年七月，久蓄逆志的南徐州刺史建平王刘景素，自恃是刘义隆长孙，又有勤王之功，意欲夺取帝位。萧道成果断征讨，激战于京口万岁楼下，很快刘景素兵败被斩。
称帝建朝
公元477年(元徽五年)六月，天气炎热，萧道成在家赤膊午睡，刘昱闯了进来，用骨箭射中他的肚脐。萧道成经过这次惊吓，知道再也不能辅佐这样的昏君。他命令越骑校尉王敬则收买皇帝侍从杨玉夫、杨万年等25人，伺机灭掉刘昱。
七月七日，刘昱微服外出，晚上喝得酩酊大醉才回仁寿宫就寝。睡前命令侍从杨玉夫说：“今天是七月七，你看见织女和牛郎相会时就来向我报告，看不见就把你杀掉。”杨玉夫知道大祸将临，于是决定先下手将其杀死。待小皇帝睡熟后，杨玉夫一刀将刘昱的头砍下。萧道成知道后立马骑赤龙马入宫，拥安成王刘准为帝，史称宋顺帝，改元升明。萧道成进位侍中、司空、录尚书事，任骠骑大将军，总掌军国大权。
袁粲、刘秉不满萧道成专权，合谋灭掉他，准备于十二月二十三日举事。事泄，萧道成抢先下手，杀死袁粲、刘秉，清除了夺取皇位道路上的两个政敌。
公元479年(升明三年)三月初二日，宋顺帝任命太傅萧道成为相国，总领百官，封给他十个郡的封地，号称齐公，颁赐九锡，让他仍然担任骠骑大将军、扬州牧、南徐州刺史。同年四月，宋顺帝颁诏将帝位禅让给齐王萧道成，萧道成于是在建康南郊登基称帝，设坛柴燎告天。至此，齐朝正式建立，史称南齐。史称萧道成为齐高帝，改年号为建元。
结果
升明三年(479年)，宋顺帝逊位，萧道成自立，改国号为“齐”，南齐政权建立，史称萧道成为齐高帝，改年号为建元。
齐高帝崇尚节俭，反对奢靡，并以身作则，将宫殿、御用仪仗等凡用金、铜制作的器具全部用铁器替代，衣服上的玉佩、挂饰等统统取消。高帝萧道成在位时经常吊在嘴边的一句话是“使我治天下十年，当使黄金与土同价”，可见他的提倡节俭与身体力行。
齐高帝任用寒人掌权要，推行检籍法，严令整顿户籍，提倡节俭，减轻人民负担，与北方通好，维护边境安定。临终前，他嘱咐太子萧赜：要警惕晋朝及刘宋皇室手足相残的教训，在治理国家，爱护同室兄弟方面要做好，国家政治稳定，经济就会复苏。齐武帝萧赜为政宽纾，人民得到10多年休养生息的时机，促进了南方经济的发展。
萧道成接受宋灭亡的教训，务从俭约，减免百姓逋租宿债，宽简刑罚，但对宋之宗室王侯，无少长皆幽死。次年下令扩大清理户籍，按虞玩之的建议，设立校籍官，以宋元嘉二十七年版籍为准整理户籍。但校籍工作弊端百出，贫苦人民常被诬为户籍诈伪而从户籍中剔除出来，同时也侵犯了庶族地主的利益。因而，在其死后不久，即因反对校籍而引发了唐寓之暴动。
齐高帝能吸取刘宋灭亡的教训，革除前代暴政，提倡节俭。继位的齐武帝萧赜能恪守其父遗嘱，不杀诸弟，朝政较为严明，内乱较少。因此，萧齐时代的前十几年，社会比较安定，人民得以休息，南方经济也有了一定的发展。可惜他只在位4年，没有实现他的夙愿。
建元四年(482年)二月，齐高帝萧道成病重。三月初八，萧道成崩于临光殿，终年56岁，在位仅4年。四月，谥曰太祖高皇帝。据史书记载，齐高帝萧道成葬于武进泰安陵。死后庙谥太祖高皇帝，葬于陵口(今江苏省丹阳市陵口镇)泰安陵。